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​​多种晶圆类型和尺寸

​我们的机电产品系列,可以将多达12种不同的末端执行器集成到系统中。有更多的选择,可以优化各种处理任务。这些末端执行器都存放在专用的更换站里,系统会根据不同的处理配方自动调配。为了保证操作准确无误,每个末端执行器都有独立的编码,避免任何误操作。我们公司的专有末端执行器、预对准器、映射系统和夹具正是能够应对各种特殊处理方法的关键。而且,还可以根据客户的需求定制系统中的所有组件,确保对电力、传感器和MEMS器件等几乎所有基板类型进行安全可靠的处理。

​​ ​ 处理各种不同类型和尺寸的晶圆

mechatronic systemtechnik ​的专有末端执行器可以根据不同的关键基板进行定制。由于不同尺寸、类型或处理需求的晶圆不能使用同一种末端执行器,因此我们研发了一套完全自动化的末端执行器更换机制,结合末端执行器更换站,系统可以存放多达12种不同的末端执行器。在处理各种关键基板时,我们的专有末端执行器可以为您量身定制。因为不同尺寸、类型或处理需求的晶圆需要不同的末端执行器,所以我们设计了一个完全自动化的末端执行器更换系统。这个系统结合了末端执行器更换站,可以在其中存放多达12种不同的末端执行器。

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​末端执行器的测量

​末端执行器测量站是一个专门的设置,用于确保机器人系统使用末端执行器时的准确性。它在更改后或进行流程之前测量末端执行器的尺寸和对齐,以确认是否符合所需规格。通过这样做,它能保持系统可靠性,预防中断,并支持高效、高质量的操作。这个站点在维护自动化流程的精度和性能方面发挥着关键作用末端执行器测量站是一个专门的设置,用于确保机器人系统使用末端执行器时的准确性。它在更改后或进行流程之前测量末端执行器的尺寸和对齐,以确认是否符合所需规格。通过这样做,它能保持系统可靠性,预防中断,并支持高效、高质量的操作。这个站点在维护自动化流程的精度和性能方面发挥着关键作用

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​末端执行器的自动对接

​末端执行器的更换完全基于不同的处理配方自动进行。为了增加保证,每个末端执行器都被单独编码,以避免误操作。此外,Mechatronic Systemtechnik GmbH还能够通过耦合器提供多种连接方式(如气动、电气)

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