mechatronic systemtechnik gmbh bietet 450mm (18’’) Wafer-Handling an
07.04.2011
(Villach, Österreich) Der Kärntner Dünnwafer-Handling-Systemanbieter mechatronic systemtechnik gmbh präsentiert einen neuen Edge-Grip Endeffektor für 450mm (18’’) Wafer.
Der neue Endeffektor erweitert das Portfolio der mechatronic systemtechnik gmbh an Edge-Grip Endeffektoren für Waferdurchmesser von 150mm (6’’), 200mm (8’’) und 300mm (12’’) um eine Komponente für das Handling von 450mm (18’’) Wafern.
Die Edge-Grip Technologie fixiert den Wafer seitlich an seiner Kante mit zwei ortsfesten und zwei beweglichen PEEK-Anschlägen. Aufgrund dieses speziellen Haltemechanismus wird der Wafer folglich nur im äußeren Randbereich berührt und der prozessierte Bereich des Wafers unabhängig von der räumlicher Orientierung in einem festen Abstand zur restlichen Endeffektor-Struktur gehalten. Dadurch wird die Gefahr einer Kontamination oder Beschädigung des Wafers signifikant reduziert.
Der Endeffektor erlaubt vorder- und rückseitiges Handling und kann sowohl für Siliziumwafer als auch für andere Materialien (z.B. Glas) verwendet werden.
Über mechatronic systemtechnik gmbh
Die mechatronic systemtechnik gmbh mit Sitz in Villach (Österreich) entwickelt, fertigt und vermarktet seit 1998 Spezialmaschinen für die Halbleiterindustrie und verfügt über ein weltweit einzigartiges Produktportfolio für das Handling von Silizium-Dünnwafern. Verwendung finden diese dünnen Scheiben aus Halbleitermaterial vor allem im permanent wachsenden Markt für Unterhaltungselektronik, z.B. in Handys, MP3-Playern, Digitalkameras oder Camcordern. Mit seinen patentierten Dünnwafer-Handling-Systemen verfügt mechatronic systemtechnik über ein klares Alleinstellungsmerkmal am internationalen Markt. mechatronic systemtechnik Handling-Systeme transportieren Wafer berührungslos und zu 100 Prozent automatisiert. Dazu wurden unterschiedliche Verfahren und Instrumente entwickelt, die je nach Kundenanforderungen eingesetzt werden, wie die Bernoulli-(Vakuum-)Technologie. Dies bedeutet einen technologischen Vorsprung von mindestens vier Jahren. Zu den internationalen Kunden zählen führende Unternehmen wie z.B. Infineon, NXP, Nikon, Rudolph, TSMC, UMC, ASE, STATS ChipPAC, …
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Kontakt
Martina Lintner
Presse- und Öffentlichkeitsarbeit
mechatronic systemtechnik gmbh
Tiroler Straße 80
A-9500 Villach
Tel.: +43 4242 33999-0
E-Mail: martina.lintner@mechatronic.at
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