Wafer Sorter mWS 150/200
Der Wafer Sorter mWS 150/200 ist für das Sortieren, (Massen-)Transferieren, Splitten und Zusammenführen von 150 mm (6") und 200 mm (8") dünnen und gebogenen Wafern konstruiert und kann mit bis zu sechs Kassetten gleichzeitig beladen werden. Vor und während des gesamten Prozesses werden alle Wafer in der Kassette sowie die Übereinstimmung zwischen Endeffektor- und Wafergröße überwacht.
Der mWS 150/200 verfügt über zwei Scanner (jeweils für bis zu drei Kassetten), einen zweiarmigen Roboter, Bernoulli-Vakuum Endeffektoren, einen Pre-aligner und eine automatisierte Endeffektor-Wechselstationen sowie eine automatisierte Station zur Reinigung der Endeffektoren nach deren Wechsel. Optional kann die Anlage mit anderen Endeffektoren (z.B. Top Gip oder Batch) und einem Grünlicht-Modul zur visuellen Inspektion ausgestattet werden.
Merkmale:
- Wafergrößen: 150 mm (6”) und 200 mm (8”)
- Sortierung von zwei Wafergrößen in einer Maschine
- Handling von gebogenen Wafern
- Optimierte Grundfläche
- Automatisierter Wechsel der Endeffektoren
- Automatisierte Reinigung der Endeffektoren
- Optionale Grünlichtinspektion
- Optionale OCR-Einheit für Wafer-ID
- Optionale FFU für höhere Reinraumklasse
- Reinraum-Klasse 5 (ISO EN 14 644-1)
- CE zertifiziert
- SEMI Standard
- Optionale USV (unterbrechungsfreie Stromversorgung)
Produktvideos
Produktbilder
10.Mai.2012
mechatronic systemtechnik nimmt an der SEMICON West als Aussteller am Gemeinschaftsstand mit Sico Technology teil
20.Apr.2011
(Villach, Österreich) Die beiden Spezialisten für Dünnwafer-Handlingsysteme mechatronic systemtechnik und ProTec Carrier Systems (PCS) intensivieren ihre Zusammenarbeit auf dem Gebiet des Handling von dünnen Substraten mittels der T-ESC®-Technologie.
07.Apr.2011
(Villach, Österreich) Der Kärntner Dünnwafer-Handling-Systemanbieter mechatronic systemtechnik gmbh präsentiert einen neuen Edge-Grip Endeffektor für 450mm (18’’) Wafer.