Wafer Loader mWL 200
Der Wafer Loader mWL 200 ist für das voll automatisierte Transferieren von 200 mm (8") Standard- oder z.B. eWLB-Wafern aus einer Kassette auf einen externen Chuck zur visuellen Inspektion konstruiert.
Der mWL 200 verfügt über zwei Kassettenstationen, einen einarmigen Roboter und einen entsprechenden Endeffektor. Optional kann die Anlage mit einem Pre-aligner, einem speziellen externen Chuck und einem Mikroskoptisch ausgestattet werden.
Die Anpassung an OEM Tools entsprechend der Kundenanforderungen ist möglich.
Merkmale:
- Wafergröße: 200 mm (8")
- Be- und Entladen eine Chucks
- Handling von Standard- oder z.B. eWLB-Wafern
- Handling von gebogenen Wafern
- Optimierte Grundfläche
- Optionale OCR-Einheit für Wafer-ID
- Optionale FFU für höhere Reinraumklasse
- Reinraumklasse 5 (ISO EN 14 644-1)
- CE zertifiziert
- SEMI Standard
- Optionale USV (unterbrechungsfreie Stromversorgung)
Produktvideos
Produktbilder
10.Mai.2012
mechatronic systemtechnik nimmt an der SEMICON West als Aussteller am Gemeinschaftsstand mit Sico Technology teil
20.Apr.2011
(Villach, Österreich) Die beiden Spezialisten für Dünnwafer-Handlingsysteme mechatronic systemtechnik und ProTec Carrier Systems (PCS) intensivieren ihre Zusammenarbeit auf dem Gebiet des Handling von dünnen Substraten mittels der T-ESC®-Technologie.
07.Apr.2011
(Villach, Österreich) Der Kärntner Dünnwafer-Handling-Systemanbieter mechatronic systemtechnik gmbh präsentiert einen neuen Edge-Grip Endeffektor für 450mm (18’’) Wafer.