Wafer Loader mWL 150/200t

Der Wafer Loader mWL 150/200t ist für das voll automatisierte Transferieren von 150/200 mm (6"/8") Dünnwafern aus einer Kassette auf einen externen Chuck zur visuellen Inspektion konstruiert.

Der mWL 150/200t verfügt über einen zweiarmigen Roboter (optional mit Flip-Box), eine Kombination aus Bernoulli Vakuum- und Top Grip Endeffektoren, zwei Kassettenstationen mit Scannern, einen Pre-aligner, eine voll automatisierten Endeffektor-Wechselstation, eine Transferstation (für die Zwischenlagerung eines Wafers während der Endeffektor für einen weiteren Arbeitsschritt automatisch gewechselt wird) inkl. einer Endeffektor-Dusche, sowie einen Touchscreen. Optional kann die Anlage individuell mit einer Wafer-Flip-Box und einem speziellen externen Chuck ausgestattet werden.

Die Anpassung an OEM Tools entsprechend der Kundenanforderungen ist möglich.

Merkmale:

• Wafergrößen: 150 mm (6") und 200 mm (8")
• Handling von zwei Wafergrößen in einer Anlage
• Be- und Entladen eines Chucks
• Handling von z.B. Dünnwafern > 50 µm
• Handling von gebogenen Wafern
• Chipseitiges und rückseitiges Handling
• Optimierte Grundfläche
• Optionale Flip-Box
• Automatisierter Wechsel des Endeffektors nach Änderung der Wafergröße 
• Automatisierte Reinigung des Endeffektors nach dessen Wechsel
• Optionale OCR-Einheit für Wafer-ID
• Optionale FFU für höhere Reinraumklasse
• Reinraumklasse 5 (ISO EN 14 644-1)
• CE zertifiziert
• SEMI Standard
• Optionale USV (unterbrechungsfreie Stromversorgung)

Produktvideos

Produktdatenblätter

mechatronic Wafer Loader_150_200-thin_V3.0_2012.pdf

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