Packing Tool mPT 150/200f
Das Packing Tool mPT 150/200f ist eine Hochleistungsanlage zum Ver- und Entpacken von 150 mm (6") und 200 mm (8") Wafern auf Filmframes. Sie ermöglicht den voll automatisierten Transfer von Filmframes zwischen Kassetten und Transportboxen.
Das mPT 150/200f verfügt über zwei unabhängige Kassettenstationen für 6"/8" Wafern auf Filmframes, einen einarmigen Roboter, spezielle Frame Endeffektoren 6"/8" und ein Verpackungsmodul mit sechs Stationen für Transportboxen und Verpackungsmaterial, sowie einen Touchscreen. Optional kann die Anlage mit einem Ionisator ausgestattet werden.
Merkmale:
- Filmframe-Größen: für 150 mm (6") und 200 mm (8") Wafer
- Ver- und Entpacken von Filmframes
- Optimierte Grundfläche
- Hoher Durchsatz
- Spezielle Bewegungs-Programierung für maximale Leistung
- Optionaler Ionisator
- Optionaler Barcode Reader für Frame ID
- Optionale FFU für höhere Reinraumklasse
- Reinraumklasse 6 (ISO EN 14 644-1)
- CE zertifiziert
- SEMI Standard
- Optionale USV (Unterbrechungsfreie Stromversorgung)
Produktbilder
10.Mai.2012
mechatronic systemtechnik nimmt an der SEMICON West als Aussteller am Gemeinschaftsstand mit Sico Technology teil
20.Apr.2011
(Villach, Österreich) Die beiden Spezialisten für Dünnwafer-Handlingsysteme mechatronic systemtechnik und ProTec Carrier Systems (PCS) intensivieren ihre Zusammenarbeit auf dem Gebiet des Handling von dünnen Substraten mittels der T-ESC®-Technologie.
07.Apr.2011
(Villach, Österreich) Der Kärntner Dünnwafer-Handling-Systemanbieter mechatronic systemtechnik gmbh präsentiert einen neuen Edge-Grip Endeffektor für 450mm (18’’) Wafer.