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mechatronic systemtechnik gmbh

         
 

mechatronic systemtechnik ist ein erfolgreiches, wachstumsstarkes High-Tech-Unternehmen mit Sitz in Villach, Österreich. Seit 2004 entwickeln und fertigen wir Spezialmaschinen für das Handling von verbogenen Wafern und Dünnwafern in der Halbleiterindustrie, wie TAIKO, MEMS, Film-Frame, eWLB etc.

mechatronic Handling-Systeme transportieren Wafer berührungslos und zu 100 Prozent automatisiert. Dazu wurden unterschiedliche Verfahren und Instrumente entwickelt, die je nach Kundenanforderungen eingesetzt werden, wie die  Bernoulli- und auch die Vakuum-Technologie. Als weltweit einziges Unternehmen bewegen wir dünne und ultradünne Wafer sowohl auf der Chip- als auch auf der Waferrückseite.

Dank unseres Technologievorsprungs, den wir stetig durch neue Entwicklungen ausbauen, bieten wir unseren Kunden exakt an ihre Bedürfnisse angepasste Handling-Lösungen für dünne und ultra-dünne Wafer.

 

mechatronic Packing Tool mPT 150/200 mechatronic Packing Tool mPT 150/200
Stand Alone Tool für das Ver- und Entpacken von dünnen und gebogenen 150mm (6") und 200mm (8") Wafern, ausgerüstet mit einem zweiarmigen Roboter und (berührungslose) Contacless-Endeffektoren.

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mechatronic Packing Tool mPT 150/200 frames mechatronic Packing Tool mPT 150/200
Stand Alone Tool für das Ver- und Entpacken von 150mm (6") und 200mm (8") Wafern auf Filmframes, ausgerüstet mit einem Roboter und speziellen Frame-Endeffektoren.

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mechatronic Packing Tool mPT 300 mechatronic Packing Tool mPT 300
Stand Alone Tool für das Ver- und Entpacken von dünnen und gebogenen 300mm (12") Wafern, ausgerüstet mit einem Roboter und einem (berührungslosen) Contactless-Endeffektor.

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mechatronic Ring Remover mRR 200/300 mechatronic Ring Remover mRR 200
Stand Alone Tool für das Entfernen der Ringe von laminirten 200mm (8") Wafern auf Filmframes, ausgerüstet mit einem zweiarmigen Roboter und speziellen Fram-Endeffektoren.

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mechatronic Wafer Sorter mWS 150/200 mechatronic Wafer Sorter mWS 150/200
Stand Alone Tool für das Sortieren von dünnen und gebogenen 150mm (6") und 200mm (8") Wafern aus/in bis zu sechs Kassetten in einer Maschine.

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mechatronic Wafer Loader mWL 150/200t mechatronic Wafer Loader mWL 150/200t
Tool (OEM Anpassung möglich) für das Transferieren von 150mm (6") und 200mm (8") Dünnwafern auf einen speziellen externen Chuck zur optischen Inspektion.

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mechatronic Wafer Loader mWL 200 mechatronic Wafer Loader mWL 200
Tool (OEM Anpassung möglich) für das Transferieren von gebogenen 200mm (8") oder z.B. eWLB Wafern auf einen speziellen externen Chuck zur mikroskopischen Inspektion.

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mechatronic Wafer Loader mWL 300 mechatronic Wafer Loader mWL 300
Tool (OEM Anpassung möglich) für das Transferieren von gebogenen 300mm (12") oder z.B. eWLB Wafern auf einen speziellen externen Chuck zur viauellen Inspektion.

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Aktuelles

24.Nov.2011


mechatronic systemtechnik ist auf der SEMICON Japan durch Delexon Technologies Japan Co. Ltd. vertreten
20.Apr.2011

(Villach, Österreich) Die beiden Spezialisten für Dünnwafer-Handlingsysteme mechatronic systemtechnik und ProTec Carrier Systems (PCS) intensivieren ihre Zusammenarbeit auf dem Gebiet des Handling von dünnen Substraten mittels der T-ESC®-Technologie.
07.Apr.2011

(Villach, Österreich) Der Kärntner Dünnwafer-Handling-Systemanbieter mechatronic systemtechnik gmbh präsentiert einen neuen Edge-Grip Endeffektor für 450mm (18’’) Wafer.